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半導體裂片儀MC600i

簡(jiǎn)要描述:SELA的半導體裂片儀MC600i自動(dòng)納米裂片系統可以自動(dòng)、快速的獲得高質(zhì)量的樣品截面,它具備在幾分鐘內完成單個(gè)樣品的裂解(包括切割樣品的兩側),裂解效果可以達到亞微米的精度,截面的質(zhì)量也極gao且無(wú)須專(zhuān)業(yè)人士的全程指導,系統所配備的算法可以實(shí)現裂解過(guò)程中的全自動(dòng)映射和規劃。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2023-05-24
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2186
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
品牌SELA截面精度300納米,?100納米(HMO),1西格瑪(全工藝)
截面精度2±5?微米,1西格瑪(單工藝和SDO工藝)截面質(zhì)量自然裂解
技術(shù)包含納米裂解,高精度微裂解和完mei裂解


Sela納米裂片系統 MC600i


?    概況


SELA半導體裂片儀MC600i 自動(dòng)納米裂片系統可以自動(dòng)、快速的獲得高質(zhì)量的樣品截面,它具備在幾分鐘內完成單個(gè)樣品的裂解(包括切割樣品的兩側),裂解效果可以達到亞微米的精度,截面的質(zhì)量也極gao無(wú)須專(zhuān)業(yè)人士的全程指導,系統所配備的算法可以實(shí)現裂解過(guò)程中的全自動(dòng)映射和規劃。


MC600i系統可用于制備高質(zhì)量截面樣品,以供后續掃描電子顯微鏡(SEM)的檢測


本系統通過(guò)刻痕和斷裂的雙重過(guò)程制備樣品且獲得高質(zhì)量截面。斷口延晶片的一個(gè)或兩個(gè)正交劈裂矢量傳播。標準的制備過(guò)程包括兩個(gè)主要階段

•  通過(guò)一個(gè)兩級精密微裂解的設備來(lái)制備已經(jīng)預設定寬度并已做好裂解位置標記點(diǎn)的晶片段;

•  通過(guò)精密的納米裂解設備來(lái)制備已經(jīng)做好裂解位置標記點(diǎn)的截面樣品。

精確的微裂解設備是圍繞物理裂解晶片段的概念來(lái)設計生產(chǎn)的。

高精度的納米裂解設備包括首先在預定的邊緣位置以高精度的要求來(lái)刻劃晶片段,然后根據這個(gè)邊緣位置引導機械進(jìn)行沖擊,使得裂紋通過(guò)刻劃過(guò)的位置沿晶體的正交向量裂開(kāi)并精準的通過(guò)裂解位置標記點(diǎn)。從而完成晶片段的完整裂解。




?   性能


•  截面精度:300納米, 100納米(HMO),1西格瑪(全工藝)

•  截面精度:±5 微米,1西格瑪(單工藝和SDO工藝)

•  截面質(zhì)量:自然裂解

•  技術(shù)包含:納米裂解,高精度微裂解和完mei裂解




?   MC600i 工藝流程  


1、快速微裂解

2、高精度納米裂解





?   初樣制備

初始樣品應使用SELA的初樣制備設備(PCM)進(jìn)行制備。

在樣品制備之前將特定的標記點(diǎn)設定好,初始樣品的最佳尺寸和放置應如下(俯視圖)

最佳贗品尺寸和標記點(diǎn)位置


?   制樣效果







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